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  1. 简介. 播报. 编辑. 业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 MASK 或 PHOTOMASK),材质: 石英玻璃 、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝光,显影,去感光胶,最后应用于光蚀刻。 [1] 结构. 播报. 编辑. 实体结构:布满集成电路图像的铬金属薄膜的石英玻璃片上的图像。 倍缩光掩模(Reticle):当铬膜玻璃仅能局部覆盖晶圆称为倍缩光掩模,通常图型要放大4倍、5倍或10倍。

  2. 1 简介. 2 种类. 透明基板. 遮光膜. 3 制作方法. 4 工艺过程. 简介. 播报. 编辑. 光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。 待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。 其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。

  3. 二元掩模. 外文名. Binary Intensity Mask. 英文缩写. BIM. 二元掩模版是使用最多的一种掩模版,被广泛用于365nm(I线)至193nm的浸没式光刻。. 二元掩模是相对于移相掩模而言的。. 最常用的二元掩模遮光材料是Cr,因为其易于沉积在 石英玻璃 上,粘合性好,物理化学 ...

  4. 外文名. mask rule check. 设计图形经过 OPC 处理后(post-OPC),在被发送到掩模生产厂之前,必须要做所谓的掩模规则检查(mask rule check,MRC)。 MRC检查“post-OPC”数据,确认其中所有图形适合 掩模版 制备工艺。 MRC中的规则是由掩模版厂提供的,OPC工程师将这些规则输入到MRC软件中。 MRC规则主要包括如下内容: (1)对图形的最小线宽(minWidth),线间距(minSpace),做出规定;也可以对亚分辨率辅助图形(SRAF)的线宽和间距限定最小值。 (2)对图形拐角之间间距(corner-to-corner)的最小值做出规定;也可以对亚分辨率辅助图形(SRAF)与主图形之间的距离做出限定。

  5. 2017年3月,何恺明和同事公布Mask R-CNN,提出了一个概念上简单、灵活和通用的用于目标实例分割(objectinstance segmentation )框架,能够有效地检测图像中的目标,同时还能为每个实例生成一个高质量的分割掩码。 [1] 何恺明(右)与导师汤晓鸥教授 ...

  6. 目 的. 控制图像处理的区域或处理过程. 应 用. 提取感兴趣区、屏蔽作用等. 词目: 图像掩模 。 英文: image masking,image mask 。 释文: 用选定的图像、图形或物体,对待处理的图像 (全部或局部)进行遮挡,来控制图像处理的区域或处理过程。 用于覆盖的特定图像或物体称为掩模或模板。 光学图像处理中,掩模可以是胶片、滤光片等。 数字图像处理中,掩模为二维矩阵数组,有时也用多值图像。 数字图像处理中,图像掩模主要用于:①提取感兴趣区,用预先制作的感兴趣区掩模与待处理图像相乘,得到感兴趣区图像,感兴趣区内图像值保持不变,而区外图像值都为0。 ②屏蔽作用,用掩模对图像上某些区域作屏蔽,使其不参加处理或不参加处理参数的计算,或仅对屏蔽区作处理或统计。

  7. 掩膜(MASK):全称 单片机 掩膜,是指程序数据已经做成光刻版,在单片机生产的过程中把程序做进去。 优点是:程序可靠、成本低。 缺点:批量要求大,每次 修改程序 就需要重新做光刻板,不同程序不能同时生产,供货 周期长 。 中文名. 掩膜. 外文名. MASK. 缺 点. 批量要求大. 图像掩模. 选定的图像. 优 点. 程序可靠、成本低。 目录. 1 单片机掩膜. 2 图像掩膜. 单片机掩膜. 播报. 编辑. 在半导体制造中,许多芯片工艺步骤采用 光刻技术 ,用于这些步骤的图形“底片”称为掩膜(也称作“ 掩模 ”),其作用是:在硅片上选定的区域中对一个 不透明 的图形模板遮盖,继而下面的腐蚀或扩散将只影响选定的区域以外的区域。 图像掩膜. 播报. 编辑.

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