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  1. www.zhihu.com › question › 339866956只有步进光刻机才会用到投影掩膜版reticle吗？ - 知乎簡

    2019年8月11日 · 谢谢邀请，先上结论，Stepper和Scanner都需要。Stepper步进式光刻机使用的技术叫Step-and-Repeat, 而Scanner使用的技术严格来讲应该叫Step-and-scan,如下图： Stepper比较好理解，就是将晶圆的一部分暴露在光下，通过reticle（光罩）整体将图形一次曝光转移到晶圆上，然后继续repeat直到整个晶圆完成图案转换。

  2. www.zhihu.com › zvideo › 1632446856990040064Scanner光刻机与Stepper光刻机有什么区别？ - 知乎簡

    2023年4月20日 · 知乎，中文互联网高质量的问答社区和创作者聚集的原创内容平台，于 2011 年 1 月正式上线，以「让人们更好的分享知识、经验和见解，找到自己的解答」为品牌使命。知乎凭借认真、专业、友善的社区氛围、独特的产品机制以及结构化和易获得的优质内容，聚集了中文互联网科技、商业、影视 ...

  3. www.zhihu.com › question › 54113810有关光刻机的问题？ - 知乎簡

    请教下stepper和scanner这两种光刻机在工作时的区别是什么？ 越详细越好，谢谢！

  4. www.zhihu.com › question › 327660899什么是光刻技术，为什么对芯片制造至关重要？ - 知乎簡

    2019年6月3日 · 芯片相关问题备受关注，大家也经常提到了制造芯片的光刻机，到底什么是光刻技术，为什么光刻技术对芯片制…

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