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简单吸氧面罩(simple oxygen mask)是2018年公布的呼吸病学名词。 [1] 中文名. 简单吸氧面罩. 外文名. simple oxygen mask. 所属学科. 呼吸病学. 公布时间. 2018年. 目录. 1 定义. 2 出处. 定义. 播报. 编辑. 无储气囊、无活瓣的开放式面罩。 面罩两侧有气孔,以排出呼出气。 为消除面罩无效腔所产生的重复呼吸,氧流量必须大于4L/min。 吸氧浓度不稳定,不适用于伴有二氧化碳潴留的低氧血症患者。 出处. 播报. 编辑. 《呼吸病学名词》 [1] 词条图册 更多图册. 概述图册(1张) 参考资料. 1 简单吸氧面罩 .术语在线 [引用日期2021-02-28] 简单吸氧面罩 的概述图 (1张) 词条统计. 浏览次数:
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美国特斯拉创始人兼首席执行官
埃隆·里夫·马斯克(Elon Reeve Musk),1971年6月28日出生于南非行政首都比勒陀利亚,本科毕业于宾夕法尼亚大学经济学和物理学双专业 [1],美国、南非、加拿大三重国籍的企业家、工程师、发明家、慈善家,特斯拉(TESLA)创始人兼首席执行官 [66] [127],太空探索技术公司(SpaceX)首席执行官兼首席技术官,太阳城公司(SolarCity)董事会主席 [2-3]、Twitter首席执行官 [146],美国神经连接公司(Neuralink)创始人 [152]、OpenAI联合创始人 [147],美国国家工程院院士 [85],英国皇家学会院士 [36]。
马斯克从小就对科学技术十分痴迷,10岁开始学习编程,13岁开发出一款游戏并因此赚到人生第一桶金 [14]。1995年至2002年,与合伙人创办Zip2和PayPal [5]。2002年,投资成立太空探索技术公司 [19]。2004年,向特斯拉公司投资630万美元 [6]。2006年,投资创办光伏发电企业太阳城公司 [4]。2022年4月,马斯克在获得推特9.2%的股份后加入其董事会,成为推特最大单一股东 [100-101]。
马斯克以其创新的思维和颠覆性的业务模式,在汽车、能源、航空航天以及人工智能等领域均取得了诸多成就。并凭借其领导才能和创新精神,荣获了多项殊荣。马斯克的资产达2047亿美元,位列“全球十大富豪实时榜单”第2位 [182]。2021年3月2日,胡润研究院发布《2021胡润全球富豪榜》,马斯克以1.28万亿元人民币财富首次成为世界首富 [57];10月,马斯克成为历史上首位身价破3000亿美元的人,是福布斯统计史上最富有的人 [68];12月,被评为美国《时代周刊》2021年度人物 [77]。
青少时期
•早年经历 1971年6月28日,埃隆·马斯克出生于南非的比勒陀利亚,其父亲是一个英荷混血儿,在南非担任机电工程师, [13]母亲出生于加拿大,是一名模特,同时还兼任着作家和营养师的工作。1980年,埃隆·马斯克在父母离婚后跟随父亲生活, [4]在父亲的启发下,埃隆·马斯克在小时候对科学技术十分痴迷。 1981年,埃隆·马斯克利用自己攒的零花钱和父亲赞助的部分资金买了人生中第一台电脑,之后又买了一本编程教科书,并且学会了如何编程。 [4] [13]两年后,埃隆·马斯克成功设计出一个名叫“Blastar”的太空游戏软件,之后以500美元的价格出售给了《PC and Office Technology》杂志,赚到了人生的第一桶金。 •就读大学
创业时期
•Zip2公司 1995年,埃隆·马斯克在辍学后与弟弟卡姆巴·马斯克(Kimbal Musk)拿着硅谷的一个小集团的随机天使投资 [17]创办了Zip2公司,这是一家为新闻机构开发在线内容出版软件的公司,当时《纽约时报》和《芝加哥邮报》都成为了马斯克兄弟的客户。四年后,美国电脑制造商康柏公司以3.07亿美元现金和3400万美元股票期权收购了Zip2公司,28岁的埃隆·马斯克在这笔收购中获利2200万美元。 •X.com 2002年10月,专注移动支付领域的贝宝被当时全球最大的网商公司易贝(eBay)以15亿美元全资收购,埃隆·马斯克作为当时拥有贝宝11.7%股权的最大股东,拿到了1.65亿美元。 [4]在这笔交易完成后,贝宝的许多核心成员离开了公司,埃隆·马斯克在彼得·蒂尔离职后接任CEO一职,但之后其在公司内部的斗争中失败而被逐出公司。 •火星绿洲
投资拓展
•初期投资 2002年6月,马斯克投资1亿美元成立太空探索技术公司(SpaceX),任首席执行官兼首席技术官,开始研究如何降低火箭发射成本,并计划在未来实现火星移民,打造人类真正的太空文明。 两年后,马斯克基于对电动汽车的热爱以及看好这个市场,向马丁·艾伯哈德(Martin Eberhard)创立的特斯拉汽车公司投资630万美元,并担任该公司的董事长 [6],但因为管理问题以及第一款跑车出产过程的磕磕绊绊,马斯克把所有的钱都投入了研发。 2005年,34岁的马斯克身价超过了3亿美元,他不满40岁时,就已经实现互联网、清洁能源和太空这三个理想。 2006年,马斯克投资1000万美元与合伙人联合创办光伏发电企业太阳城公司。 •逆境中求变 2008年,随着金融危机的蔓延,马斯克的事业遭受了严重打击。他的太空探索公司SpaceX连续三次火箭发射失败,每次失败都意味着巨大的经济损失。同时,他旗下的电动汽车公司Tesla也因高昂的研发成本而陷入困境,一度面临破产风险。 尽管面临重重困难,马斯克并未放弃。2010年6月,他成功带领Tesla在纳斯达克上市,筹集了约1.84亿美元资金。尽管上市前夕有报道称他濒临个人破产,但Tesla的成功上市为他带来了转机。上市后,马斯克的个人财富大幅增长,Tesla也成为自1956年福特汽车IPO以来第一家上市的美国汽车制造商,并且是当时唯一一家在美国上市的纯电动汽车独立制造商。 在SpaceX方面,尽管经历了多次失败,但公司从2007年开始就已经实现了盈利。2010年12月8日,SpaceX研发的猎鹰9号火箭成功将“龙飞船”发射到地球轨道并顺利折返,这是全球首次由私人企业完成此类任务。这一成就标志着私人太空探索的新纪元已经到来,整个宇航界都为之震动。NASA也开始考虑与私营公司合作,将物资补给送入国际空间站。 面对事业的起伏,马斯克在2011年坦言,将全部的未来赌在火箭和电动车上确实是一次巨大的冒险。但他坚信,如果不这样全力以赴,那么成功的希望几乎为零。他的坚持和勇气为他赢得了更多人的尊重和支持。 2012年5月31日,SpaceX再次创造历史,他们的“龙”太空舱成功与国际空间站对接后返回地球,这是私人企业首次完成此类任务。这一成就标志着太空运载的私人运营时代已经开启,为未来的太空探索开辟了新的道路。 •多元化发展 2016年12月,马斯克成立了一家解决地面拥堵问题的轨道交通公司The Boring Company [21],根据其设想,他将在地面上安装汽车暂停的“托盘”,汽车停好后,托盘会下降到地底,将车子在地底隧道间快速运输,最快时速甚至到达200千米。 2017年6月1日,在特朗普宣布退出《巴黎协定》半小时后,特斯拉CEO埃隆·马斯克宣布辞去特朗普顾问委员会的职位。 2017年初,马斯克宣布计划制造一个更大的火箭,为2022年开始实施火星殖民计划作准备。他也承认,这一时间表堪称“雄心壮志”。该项目的代号为“超大型火箭”(BFR)。 •巅峰与波折
宏大愿景
马斯克的投资可谓冒险之极。围绕着殖民火星的目标,他将巨额财富先后投资在:研发可回收火箭的SpaceX、造电动汽车的特斯拉和利用太阳能发电的SolarCity。 在马斯克的头脑中有一幅完整的蓝图:SpaceX负责运输,将人类送去火星;SolarCity负责将太阳能转化为电能,提供人类在火星生活的能源;而特斯拉承担着人类在火星出行和运输的艰巨任务。
太阳城市
马斯克通过支持美国民用太阳能板安装商SolarCity,成功推动该公司向散户投资者发行太阳能债券,扩大投资者范围。这一举措不仅为SolarCity提供了新的融资渠道,也促进了太阳能系统的普及,同时让散户投资者有机会参与到清洁能源领域中来。马斯克的这一投资策略体现了他对可再生能源和未来发展的远见卓识,为推动可持续发展做出了积极贡献。
火星绿洲
马斯克在大学曾修过物理学,但他并不是个火箭专家。2001年初,马斯克策划了一个叫“火星绿洲”的项目,计划把一个小型实验温室降落在火星上,包括要在火星土壤里生长的农作物。不过当他发现发射成本比这个项目的研发和工程成本都要高得多的时候他暂缓了这个项目,他决定先成立一个公司来研究怎样降低发射成本,这就是SpaceX公司。
工商领域
•出售股票 2021年11月11日,特斯拉首席执行官马斯克11月8日行使了超过215万份股票期权,以6.24美元的价格购入2154572股股票,这部分期权将于2022年8月13日到期。 2021年11月16日,马斯克周一又抛售了超过93.4万股特斯拉股票,价值约9.3亿美元。 美国证交会文件显示,当地时间12月22日,马斯克以6.24美元的价格行使特斯拉2105171份期权,并出售934091股特斯拉股票,价值约9.3亿美元。 2022年8月10日,据美国有线电视新闻网报道,美国证券交易委员会获取的最新文件显示,特斯拉首席执行官马斯克从8月5日到9日共抛售约790万股公司股票,总价值达69亿美元,约合人民币466亿元。 •证交会起诉 2018年9月27日,美国证券交易委员会(SEC)针对特斯拉CEO马斯克提起诉讼,指控他误导投资人并涉嫌证券欺诈。该事件起源于马斯克在推特上宣称考虑将特斯拉私有化,并声称资金已到位,导致特斯拉股价大幅上涨。然而,随后信息显示资金并未完全落实,马斯克也宣布放弃私有化计划。SEC要求法院禁止马斯克担任美国上市公司高管或董事,并要求其退回非法所得和接受民事处罚。马斯克对此表示非常失望,坚称自己一直维护投资者利益。特斯拉公司及董事会则发表声明支持马斯克。然而,事态并未就此平息,2019年2月25日,SEC再次出手,要求法官以藐视特斯拉与SEC的和解协议为由扣押马斯克。 [10] •节约成本 2021年,特斯拉CEO埃隆·马斯克在上周五给全公司的员工发送了一封电子邮件,他在这封邮件中敦促员工寻找降低向客户交付电动汽车的成本的方法,而不是在最后一刻匆忙下单以达到季度末的销售目标。 •捐赠股票 2022年2月16日,监管文件显示,就在联合国世界粮食计划署(WFP)呼吁埃隆·马斯克捐赠60亿美元协助缓解全球饥荒问题几天后,马斯克真的捐赠了逾500万股股票。然而,WFP执行干事戴维・比斯利(David Beasley)表示,他们没收到任何捐赠。 2022年2月,埃隆·马斯克于2021年11月19日至11月29日向一家慈善机构捐赠了特斯拉5044000股股票,该慈善机构于2022年2月14日向美国证券交易委员会提交实益所有权变动文件。 •废除和解协议 2022年3月9日,特斯拉CEO马斯克周二请求一名联邦法官废除他在2018年与美国证监会达成的一项和解协议,该协议要求他的推文必须事先得到批准,这一条件引发他与美国政府在他和特斯拉是否遵守该规则方面的持续冲突。 •获得域名 在由硅谷一位工程师拥有并且在长达24年时间一直未被使用之后,特斯拉汽车公司(Tesla Motors)首席执行官埃隆·马斯克最终拥有了Tesla.com域名 [49]。 •证交会调查 2022年2月,有报道称美国证券交易委员会(SEC)正在对特斯拉CEO埃隆·马斯克及其弟弟的股票交易进行调查,以判断是否违反内幕交易规则。几个月后,到了5月,马斯克因未按规定及时披露他持有Twitter(推特)大量股份一事而受到SEC的调查。据悉,马斯克在宣布收购推特之前已大量购入该公司股票,成为其最大股东,但这一行为并未及时公开。这一事件使得马斯克收购推特的交易过程更加曲折,不仅引发了董事会的抵制和网上的口水战,还招来了SEC的严格审查。SEC对马斯克的调查主要集中在他是否违反了证券交易规则,特别是在信息披露方面的规定。 [91] [108] •特斯拉裁员 2022年6月22日,本周二美国电动汽车制造商特斯拉首席执行官埃隆·马斯克确认公司裁员3.5%,并表示电动汽车的需求“非常高”,随后特斯拉股价当日一度飙涨超12%。 •推特起诉 2022年5月,外媒报道称推特股东正在起诉特斯拉CEO马斯克和推特公司,指控他们在处理推特收购/出售交易时表现混乱,导致推特股价剧烈波动。 [114]两个月后,知情人士透露推特已聘请顶级律所沃奇尔·立普顿准备起诉马斯克,因为他在7月8日表示将终止对推特的440亿美元收购。 [116]7月12日,推特正式起诉马斯克,要求他按约定价格收购该公司。 [117]随后,7月16日,特拉华州大法官宣布将于7月19日举行首次听证会。在听证会上,法官裁决将于10月对马斯克终止收购推特一案进行审判。 [118]7月29日,马斯克对推特发起反诉,但具体诉讼内容未公开。 •联邦部门调查 2022年10月15日《科创板日报》讯,Twitter在一份法律文件中表示,马斯克正受到联邦部门的调查,涉及他以440亿美元收购该社交媒体平台的计划。Twitter的律师称,他们已经要求获取马斯克与有关部门之间实质性通信的副本。Twitter在其文件中表示,已寻求获取马斯克法律团队与美国证券交易委员会以及联邦贸易委员会之间的沟通内容 [129]。 •或卸推特CEO 当地时间2022年12月18日,特斯拉、推特CEO埃隆·马斯克发起了一项“是否辞任推特CEO”的投票,截至投票结束,累计收获了1738万次投票,其中赞成票的比例达57.5%。对此,马斯克表示,他将遵守投票结果。意味着,马斯克即将卸任推特CEO。 •曝光与美政府合作 据美国福克斯新闻商业频道报道,推特首席执行官马斯克当地时间2022年12月27日表示,所有社交媒体平台都与美国政府合作,对内容进行审查。 •“星链”服务 2023年2月13日,据《纽约邮报》报道,美国太空技术探索公司(SpaceX)首席执行官埃隆·马斯克称,他会限制乌克兰军方使用该公司的“星链”卫星通讯服务,以避免该技术的使用造成冲突升级并引发“第三次世界大战”。 2023年9月7日,美国有线电视新闻网(CNN)援引该国作家沃尔特·艾萨克森所撰写的一本关于马斯克的新书爆料称,马斯克去年曾秘密命令工程师关闭克里米亚海岸附近的“星链”互联网卫星通信系统,以阻止乌军暗袭俄罗斯舰队。 2023年9月11日,埃隆·马斯克发帖,对于“拒绝帮助乌克兰无人机袭击克里米亚的俄海军舰队”再次做出回应,马斯克发文称自己只是美国公民,没有义务为基辅而战。 加沙地带遭遇通信中断后,美国太空探索技术公司“星链”卷入中东局势中。2023年10月29日,据美国有线电视新闻网(CNN),对于美国企业家马斯克宣布将把卫星通信系统“星链”提供给在加沙地带的国际认证援助组织使用,以色列通讯部长什洛莫·卡希激烈反对,指责哈马斯“将利用它进行恐怖活动”。 •薪酬方案被否与搬公司
舆论媒体
•“垃圾邮件灭世论” 马斯克针对人工智能的威胁性提出了这样一个假设:也许机器人会“觉得”删除垃圾邮件的最好办法是把人类一起干掉。许多人斥责这个假设纯属无稽之谈,堪称神逻辑。但事实上,这个观点并非马斯克原创。之前就曾有科学家提出过相似的但更加严密的“铁钉灭世”的假设:一个人类给人工智能下达了尽可能多的生产铁钉的命令。于是人工智能开始疯狂地开采铁矿煤矿冶炼钢铁,制造铁钉。当人类认为铁钉已经足够了,于是命令人工智能停止制造。但人工智能却认为他是在妨碍铁钉的制造,本着“尽可能”的原则杀死了这个人类。终于有一天,地球上铁矿、煤矿都被开采完了。(假设人类尚未因为煤矿、铁矿的开采而灭绝)人工智能忽然想到,人体内部也含有铁……最终人类灭绝。 •“阻碍科技创新”奖
对华交往
•中国首秀 特斯拉CEO马斯克在2014年4月21日下午在极客公园的活动上,他现场录制了一场中国中央电视台《对话》栏目,并与联想集团CEO杨元庆进行了一场对话。 马斯克完整的向中国潜在消费者解释其中国战略的良好机会,但最终做成一场科技版的《艺术人生》,变成了马斯克的系统总结。 马斯克三次谈及了中国,谈其5岁的宝宝喜欢中国,一次是解释了中国区的特斯拉定价问题;还有一次是透露将在上海和北京建设充电站,未来三四年将会有本地化的生产。 •访华活动 2023年5月30日,埃隆·马斯克乘私人飞机到访中国。同日,中国前国务委员兼外长秦刚在北京会见特斯拉首席执行官马斯克。 [149] 2023年5月31日,工业和信息化部部长金壮龙在京会见特斯拉公司首席执行官马斯克。 [150] [156]5月31日,商务部部长王文涛会见特斯拉公司首席执行官马斯克。双方就中美经贸合作、特斯拉在华发展等议题进行了广泛、深入的交流。 [151] [157]5月31日,中国贸促会会长任鸿斌会见特斯拉公司首席执行官埃隆·马斯克。双方就推动中美新能源产业合作、加强中美工商界交流合作、举办首届中国国际供应链促进博览会等议题深入交换意见。 [154] [158]同日,马斯克到访特斯拉上海超级工厂 [162]。 2023年6月1日,上海市委书记陈吉宁会见了特斯拉公司首席执行官马斯克 [153],陈吉宁介绍了上海经济社会发展相关情况。马斯克介绍了特斯拉新能源汽车、新型储能等业务开展情况,并表示希望持续深化与上海的各领域合作,更好服务中国市场和全球市场。上海市领导张为、陈金山、李政参加会见 [161]。 •在中国网信撰文
世界首富
•首次成为世界首富 2021年1月7日,世界首富易主。当天特斯拉CEO埃隆·马斯克的个人净资产升至1850亿美元,超越了亚马逊CEO杰夫·贝佐斯成为全球第一富豪 [56] •二度成为世界首富 在2021年2月19日,继2021年1月7日后,特斯拉CEO马斯克重新成为世界首富,其资产达到1999亿美元;此前,马斯克旗下SpaceX完成新一轮融资,从红杉资本牵头的投资者手中融资8.5亿美元,SpaceX在此轮融资中估值为740亿美元,较8月份增长了60%,使得马斯克净资产增加了约110亿美元。 •三度成为世界首富 2021年10月26日,据美国《福布斯》杂志称,得益于特斯拉股价大涨,特斯拉CEO埃隆·马斯克的财富跃升至近3000亿美元,成为了福布斯统计史上最富有的人。 2021年12月19日晚,埃隆·马斯克(Elon Musk)在推特上宣布,“2021年将缴纳110亿美元以上的税款”。彭博社称,如果马斯克兑现承诺,这或是美国国税局(IRS)迄今为止收到的最大一笔税款。 2022年1月4日,据国外媒体报道,得益于特斯拉股价的暴涨,据《福布斯》估计,马斯克的财富达到了3042亿美元,再次超过了2021年11月首次短暂突破的3000亿美元大关。 2022年4月5日,美国财富杂志《福布斯》公布2022年全球亿万富豪榜,埃隆·马斯克以2190亿美元净资产,取代亚马逊创始人贝索斯,成为全球首富 [102]。 当地时间2022年12月12日,据《福布斯》富豪榜最新数据显示,埃隆·马斯克已不是世界首富。 •吉尼斯世界纪录 2023年1月,吉尼斯世界纪录官网发布消息称,美国特斯拉公司首席执行官马斯克打破历史上最大的个人财产损失世界纪录。 [136]美国《福布斯》网站的数据显示,马斯克的净资产从2021年11月的3200亿美元峰值下降至2023年1月初的1380亿美元,而另有消息源表明,其实际的资产损失可能接近2000亿美元(约合人民币1.37万亿元)。 •重返世界首富
商界奇才
埃隆·马斯克的朋友们评价他是个目标极其明确的人,他习惯从工程师的视角看世界。他在宾夕法尼亚大学的室友Adeo Ressi说,他也是一个疯狂的创业者,大学时候,两人曾经开了一个夜总会,每次警察打来电话,总是马斯克故作冷静地回应。 他在上大学的时候就常常思考,这个世界面临的真正问题是什么,哪些会影响到人类的未来。他看好互联网,可持续能源和空间探索。后来他依约进入了这三个领域,并依次扔下PayPal,Tesla Motors和SpaceX三个重磅炸弹。 “只要他看好的,他会一直努力,直到达到目标。”Ressi说。对于那些反对他的人,他会不遗余力地反击,毫不掩饰自己的真实想法。 美国总统唐纳德·特朗普:①特斯拉首席执行官埃隆·马斯克是全世界的“伟大天才”之一,他就像是爱迪生。②马斯克“是我们伟大的天才之一,而我们必须保护自己的天才”。 [165] 在美国《60分钟》访谈节目中,马斯克将自己成功的原因总结为:“受学习物理学的影响,善于从基础和理论层面看待和解决问题,并从中升华出长远的思考。”诚然马斯克的每一步商业运作从外人看来确实与豪赌无异,但他的确能够因地制宜,快速调整发展战略。从IT到航天,从登陆火星到研究火箭、研发全电汽车、开发太阳能城市,各项研究虽然高深,但并不是不着边际。因此虽然马斯克在豪赌,但是看起来他拿了一手不错的牌。正是这种基于现实、立足已有技术同时超越现实、升华现有技术的发展模式,再结合在IT界打拼过程中积累的管理经验使得马斯克手下的企业,不论是SpaceX还是特斯拉,都能够在探索和竞争中有惊无险地稳步前进。 很多媒体喜欢将埃隆·马斯克形容为乔布斯和钢铁侠的合体。乔布斯专注的是小的极致美,马斯克则是走向更宏大的雄壮美--他造汽车、造太阳城、造火箭,用钢铁侠般的宏大英雄主义创造出了一个又一个的宏大新商机。 [176](《科技中国》 评)
•涉毒
2018年9月,马斯克在参加一档美国网络直播节目时对着镜头吸大麻,引起广泛争议,也引发美国航天局高层担忧,为此,美国航天局对两家载人航天业务承包商太空探索技术公司和波音公司进行安全文化审查 [51],马斯克后来透露,这次事件给他和SpaceX公司带来了很多麻烦。
2024年1月,美国《华尔街日报》指出马斯克涉及毒品,称其“经常吸毒”,这进一步加剧了对其个人行为和公司运营的担忧。马斯克随后回应,他已同意接受美国国家航空航天局为期3年的随机药物测试,并坚称测试未发现任何毒品或酒精。 •性丑闻
2022年5月,美国媒体报道称,埃隆·马斯克涉及一桩旧日丑闻,2018年,马斯克通过旗下美国太空探索技术公司向一名空姐支付了25万美元(约合170万元人民币)封口费,以了结对马斯克的不当性行为指控。 •言论争议
非重复呼吸面罩(non-rebreathing mask)是2018年公布的呼吸病学名词。一种具有单向活瓣、可防止呼出气进入储气囊的吸氧面罩。临床上常用呼吸机的单向通气活瓣或单向阀防止呼出气进入面罩,保证较高的吸氧浓度,甚至达100%,但阻力稍大。
梅耶·马斯克,全球首富埃隆·马斯克的母亲,企业家,营养师,演说家,知名时尚偶像,拥有两个营养学硕士学位、72岁仍活跃在舞台上的模特和网络红人。梅耶·马斯克是一名加拿大模特,她已经在模特行业工作超过五十年。2022年5月18日,全球首富埃隆·马斯克的妈妈梅耶·马斯克本周再次成为 ...
概述. 播报. 编辑. Full Mask和MPW都是集成电路的一种流片(将设计结果交出去进行生产制造)方式。 Full Mask是“全掩膜”的意思,即制造流程中的全部掩膜都为某个设计服务;而MPW 全称为Multi Project Wafer,直译为多项目晶圆,即多个项目共享某个晶圆,也即同一次制造流程可以承担多个IC设计的制造任务。 联系与区别. 播报. 编辑. 在IC设计和生产流程中,Fabless设计者一般会将集成电路设计的最终结果以GDSII格式记录的电路版图数据交给Foundry,这个动作叫做Tape Out,俗称流片(投片)。
中文名. 硬掩模. 外文名. Hard Mask. 硬掩模 (Hard Mask)是一种通过CVD (Chemical Vapor Deposition, CVD)生成的无机 薄膜材料 。 其主要成分通常有TiN、 SiN 、SiO2等。 硬掩模主要运用于多重光刻工艺中,首先把多重光刻胶图像转移到硬掩模上,然后通过硬掩模将最终图形刻蚀转移到衬底上 [1] 。 硬掩模在工艺中运用: 双重光刻 (LELE)工艺中的双沟槽光刻技术、双线条光刻技术;三重光刻 (LELELE)技术;自对准的双重成像技术 (Self-aligned Double Patterning, SADP)等 [1] 。 图1 双沟槽光刻工艺流程示意图 (使用暗场掩模版和 正性光刻胶)
1 简介. 2 种类. 透明基板. 遮光膜. 3 制作方法. 4 工艺过程. 简介. 播报. 编辑. 光刻掩膜版(又称光罩,英文为Mask Reticle),简称掩膜版,是微纳加工技术常用的光刻工艺所使用的图形母版。 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形结构,再通过曝光过程将图形信息转移到产品基片上。 待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。 其图形结构可通过制版工艺加工获得,常用加工设备为直写式光刻设备,如激光直写光刻机、电子束光刻机等。